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項(xiàng)目 | 參數(shù) |
曝光光源 | 350W、500W、1KW、2KW汞燈/UV-LED |
晶圓尺寸 | 2”-12” |
均勻性 | ≤ ±3％ 和 ≤±5％ |
對(duì)準(zhǔn)精度 | ±1μm（選配±0.5μm） |
分辨率 | ±1μm（選配±0.8μm） |
產(chǎn)能 | ≥70wph |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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