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電阻蒸發(fā)鍍膜設(shè)備ZHD300
電阻蒸發(fā)鍍膜設(shè)備ZHD300

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型號

電阻蒸發(fā)鍍膜設(shè)備ZHD300

品牌

北京泰科諾

產(chǎn)地

北京

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北京泰科諾科技有限公司

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設(shè)備型號:ZHD300 鍍膜方式:多源金屬蒸發(fā)真空腔室結(jié)構(gòu):玻璃鐘罩 + 不銹鋼底座真空腔室尺寸:Φ300mm×H360mm 加熱溫度:室溫~ 250℃ 基片臺尺寸:Φ100mm 膜厚不均勻性:Φ80mm 范圍內(nèi)≤ ±5.0% 蒸發(fā)源:2組金屬蒸發(fā)源控制方式:PLC + 觸摸屏控制占地面積:主機 L1100mm×W800mm 總功率:≥ 5kW 適用范圍:大專院校、科研院所及企業(yè)進(jìn)行薄膜新材料的科研與小批量制備

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