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藍(lán)寶石基氮化鎵外延襯底Tempalte（2~8inch） | ||||
襯底直徑 | 50.8mm | 100mm | 150mm | 200mm |
藍(lán)寶石襯底厚度 | 430μm | 650μm | 1000μm | 1600μm |
藍(lán)寶石襯底表面 | FSS/PSS/NPSS | FSS/PSS/NPSS | FSS/PSS/NPSS | FSS/PSS/NPSS |
藍(lán)寶石襯底晶向 | C-Plane | |||
外延導(dǎo)電類型 | N-type | P-type | UID | |
外延摻雜元素 | Si-doping | Mg-doping | Undoped | |
外延層厚度 | 厚膜：3~5 μm ；薄膜：0.1~1 μm | |||
外延層厚度均勻性 | ≤5% | |||
外延層表面狀態(tài) | RMS＜2nm | |||
外延結(jié)構(gòu)圖 |
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