主成分含量(%):
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特性 | 石英 JGS1 | 石英 JGS2 | TGV工藝石英 | 高硼硅玻璃 BF33 |
材料類型 | 220nm - 2500nm | 中等純度石英(天然或合成) | 高純度石英(可能為合成或熔融石英) | 高硼硅玻璃(含硼氧化物) |
主要成分 | SiO?(>99.99%) | SiO?(>99.9%) | SiO?(>99.9%) | SiO?(約81%)、B?O?(約13%) |
羥基含量 | 高(約1000 ppm) | 低(約200 ppm) | 低(通常<10 ppm) | 低(<10 ppm) |
熱膨脹系數 | 0.55 × 10?? /K(極低膨脹) | 0.55 × 10?? /K(極低膨脹) | 熱膨脹系數低 | 3.25 × 10?? /K(低膨脹) |
耐熱性 | 極高(軟化點約1700°C) | 極高(軟化點約1700°C) | 極高,耐高溫 | 較高(軟化點約820°C) |
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