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北京泰科諾科技有限公司
1 年
鉆石會(huì)員
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北京泰科諾科技有限公司
鉆石會(huì)員已認(rèn)證
設(shè)備型號(hào)：ZHDS400
鍍膜方式：金屬 + 有機(jī)蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304 方箱式，配有前、后門
真空腔室尺寸：L400mmxW440mmxH450mm
加熱溫度：室溫-300℃（選配）
基片臺(tái)尺寸：抽屜式：220mmx220mm可旋轉(zhuǎn)、升降、水冷
膜厚不均勻性：≤±5.0%（120mmx120mm范圍內(nèi)）
蒸發(fā)源：金屬 2 組 + 有機(jī) 4 組或更多，有機(jī)配溫控式加熱電源，金屬電源 （國產(chǎn)或進(jìn)口）
晶振膜厚監(jiān)控儀：國產(chǎn)或進(jìn)口 多探頭可選
控制方式：PLC/PC 控制 ( 可選 )
占地面積：L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 )
總功率：≥ 10kW 三相五線制
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