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設(shè)備名稱：鈣鈦礦太陽(yáng)能電池蒸發(fā)設(shè)備（鍍膜機(jī)+手套箱復(fù)合型）
設(shè)備型號(hào)：ZHDS400
鍍膜方式：金屬 + 有機(jī)/無(wú)機(jī)蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304 方箱式，配有前、后門(mén)
真空腔室尺寸：L400mmxW440mmxH450mm
加熱溫度：室溫-300℃（選配）
基片臺(tái)尺寸：抽屜式：120mmx120mm可旋轉(zhuǎn)、升降、水冷
膜厚不均勻性：≤±5.0%（120mmx120mm范圍內(nèi)）
蒸發(fā)源：金屬 2 組 + 有機(jī) 4 組或更多，有機(jī)配溫控式加熱電源，金屬電源 （國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口）
晶振膜厚監(jiān)控儀：國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口（可選）
控制方式：PLC/PC 控制 ( 可選 )
占地面積：L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 )
總功率：≥ 10kW 三相五線制

1. 技術(shù)先進(jìn)、設(shè)計(jì)優(yōu)化，性價(jià)比高，性能穩(wěn)定，使用維護(hù)成本低。

2. 適用于蒸發(fā)/磁控濺射與手套箱環(huán)境有機(jī)融合，實(shí)現(xiàn)制備、封裝、測(cè)試等工藝無(wú)縫對(duì)接，廣泛用于鈣鈦礦太陽(yáng)能電池 /OPV 有機(jī)太陽(yáng)能電池及 OLED薄膜等研究系統(tǒng)等。

3. 鈣鈦礦蒸鍍適用范圍：有機(jī)材料，常見(jiàn)如C60、BCP制備電子傳輸層。無(wú)機(jī)材料，如LiF、MgF 制備鈣鈦礦層修飾層，金屬材料，如Cu,制備背電極。