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北京泰科諾科技有限公司
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設(shè)備名稱：熱絲 CVD 金剛石膜沉積設(shè)備
設(shè)備型號：HF450
真空腔室結(jié)構(gòu)：立式前開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷
真空腔室尺寸：Φ450mmxH500mm
真空系統(tǒng)：復(fù)合分子泵高真空系統(tǒng)
基片臺尺寸：Φ100mm
襯底溫度：600 ～ 1100℃
電源：專用熱絲電源 400A, 恒流或恒功率模式
氣路控制：4 路氣體流量控制
控制方式：PLC 觸摸屏控制
占地面積：主機(jī) L1200mm×W1060mm×H1900mm
總功率：≥ 20kW
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