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北京泰科諾科技有限公司
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鉆石會(huì)員
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北京泰科諾科技有限公司
鉆石會(huì)員已認(rèn)證
設(shè)備名稱(chēng)：鈣鈦礦太陽(yáng)能電池磁控濺射設(shè)備（不與手套箱連接）
設(shè)備型號(hào)：JCP500
鍍膜方式：磁控濺射
真空腔室結(jié)構(gòu)：立式圓腔前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu) 側(cè)置抽氣系統(tǒng)
真空腔室尺寸：Φ500mm×H420mm
基片臺(tái)尺寸：Φ150mm
膜厚不均勻性：≤±5.0%（100mmx100mm范圍內(nèi)）
基片臺(tái)加熱：室溫～500℃
基片臺(tái)水冷：10℃～30℃
濺射靶：φ3英吋靶*3支 兼容DC/MF/RF濺射
晶振膜厚監(jiān)控儀：國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口（可選）
控制方式：PLC + 觸摸屏控制
占地面積：L1750mm×W800mm×H1900mm
總功率：≥10kW
1.國(guó)內(nèi)技術(shù)**、市場(chǎng)占有率**，設(shè)計(jì)優(yōu)化，性能穩(wěn)定，使用維護(hù)成本低。
2.廣泛用于鈣鈦礦太陽(yáng)能電池及復(fù)合功能薄膜材料制備等應(yīng)用。
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