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設(shè)備名稱：鈣鈦礦太陽能電池磁控濺射設(shè)備（鍍膜機+手套箱復(fù)合型）
設(shè)備型號：JCPS600
鍍膜方式：磁控濺射
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304方箱式，配有前、后門
真空腔室尺寸：L600×D600×H550mm
加熱溫度：室溫～300℃
基片臺尺寸：抽屜式：Φ320mm或210*210mm 可旋轉(zhuǎn)、升降
膜厚不均勻性：≤±5%（210mm×210mm范圍內(nèi)）
蒸發(fā)源/濺射靶：4/6英吋靶：2-3只 DC/RF電源及偏壓電源
晶振膜厚監(jiān)控儀：國產(chǎn)或進口（可選）
控制方式：PLC/PC控制（可選）
占地面積：L2100mm×W1300mm×H2100mm（不含手套箱）
總功率：≥15kW 三相五線制

1.國內(nèi)技術(shù)**、市場占有率**，設(shè)計優(yōu)化，性能穩(wěn)定，使用維護成本低；

2.適用于磁控濺射與手套箱環(huán)境有機融合，實現(xiàn)制備、封裝、測試等工藝無縫對接，廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池 /OPV 有機太陽能電池及 OLED薄膜等研究系統(tǒng)等。

3.磁控主要是濺射氧化鎳，制備空穴層，濺射ITO制備透明電極，濺射Cu，制備背電極