
北京泰科諾科技有限公司
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北京泰科諾科技有限公司
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設(shè)備型號:ZHDS500
鍍膜方式:金屬 + 有機蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu):SUS304 方箱式,配有前、后門
真空腔室尺寸:L500mmxW500mmxH650mm
加熱溫度:室溫-300℃(選配)
基片臺尺寸:抽屜式:220mmx220mm可旋轉(zhuǎn)、升降、水冷
膜厚不均勻性:≤±5.0%(220mmx220mm范圍內(nèi))
蒸發(fā)源:金屬/有機4-6組
晶振膜厚監(jiān)控儀:國產(chǎn)或進口(可選)
控制方式:PLC/PC 控制 ( 可選 )
占地面積:L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 )
總功率:≥12kW 三相五線制
1. 技術(shù)先進、設(shè)計優(yōu)化,性價比高,性能穩(wěn)定,使用維護成本低;
2. 廣泛應(yīng)用于鈣鈦礦太陽能電池/OPV有機太陽能電池等各種膜層的制備;
如:鈣鈦礦層、電子傳輸層及背電極等膜層的制備
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9111011475217349XB法人代表
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