
北京泰科諾科技有限公司
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北京泰科諾科技有限公司
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設備名稱:鈣鈦礦太陽能電池蒸發(fā)設備(不與手套箱連接)
設備型號:ZHD500
鍍膜方式:金屬+有機蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu):立式方形前開門結(jié)構(gòu)
真空腔室尺寸:L500mmxW500mmxH450mm
基片臺尺寸:220mmx220mm
膜厚不均勻性:≤±5.0%(210mmx210mm范圍內(nèi))
基片臺加熱:室溫~300℃(選配)
基片臺水冷:10℃~30℃
蒸發(fā)源/濺射靶:金屬+有機共6組(選配);有機配溫控式加熱電源,金屬電源(國產(chǎn)或進口)
晶振膜厚監(jiān)控儀:國產(chǎn)或進口多探頭(可選)
控制方式:PLC + 觸摸屏控制
占地面積:L1840mmxW800mmxH1920mm
總功率:≥12kW
1.國內(nèi)技術(shù)**、市場占有率**,設計優(yōu)化,性能穩(wěn)定,使用維護成本低。
2.廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池及復合功能薄膜材料制備等應用。
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9111011475217349XB法人代表
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