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熱絲HFCVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備應(yīng)用-HF600

熱絲HFCVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備應(yīng)用-HF600
泰科諾  2025-07-19  |  閱讀:102

北京泰科諾科技23年真空行業(yè)經(jīng)驗,獨立研發(fā)的熱絲法制備金剛石膜方法填補了國內(nèi)行業(yè)空白,產(chǎn)品獲得多項國家專利和認(rèn)證。廣泛適用于各大高校、科研院所和生產(chǎn)企業(yè)實現(xiàn)教學(xué)、研發(fā)和中試之目的。目前已初步實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。


一、制備金剛石厚膜

1、連續(xù)沉積40天,膜層厚度2.1mm。

2、可以把厚膜經(jīng)過激光切割成金剛石刀粒,釬焊在刀架上,制成金剛石釬焊刀具,用于盾構(gòu)機的高耐磨刀具,用于超精密切削,可用來加工高硅鋁合金、碳纖維材料、各種有色金屬、復(fù)合材料、陶瓷和塑料等難加工材料,替代PCD或單晶金剛石刀具。

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①金剛石厚膜    ②金剛石釬焊刀具    ③金剛石膜顯微鏡照片,表面晶粒明顯


二、制備金剛石涂層

1、通過HFCVD方法直接在刀具表面沉積金剛石涂層,可在任意形狀的工具襯底上沉積,應(yīng)用于加工高硬度材料。


2、金剛石膜的多晶特征所具有的準(zhǔn)各向同性,在做拉絲模時,??拙鶆蚰p,優(yōu)于金剛石單晶拉絲模具的使用性能,目前技術(shù)已相對比較成熟。

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①PCB刀具   ②拉絲模具   ③微米級熱絲金剛石涂層顯微鏡


三、制備金剛石導(dǎo)電電極涂層

1、金剛石薄膜電極:利用摻雜硼元素,賦予了金剛石薄膜電極優(yōu)異的電化學(xué)特性,如寬的電化學(xué)視窗、較低的背景電流、較好的物理化學(xué)穩(wěn)定性及低吸附特性等,使用其優(yōu)異的性能,適用于有毒、難降解的強酸、強堿等高濃度有機污染物廢水的電化學(xué)處理。

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     ①金剛石薄膜電極  

四、更多在開發(fā)中的應(yīng)用項目

——通過HFCVD制備可以作為熱沉片應(yīng)用的金剛石厚膜;

——制作CVD金剛石細(xì)長管,可以應(yīng)用于高硬度磨料噴射的噴嘴;

——在光滑襯底上直接沉積金剛石薄膜,用于平面耐磨器件對耐磨性和高精度的要求。



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